Tungsten ဝိုင်ဖိုင်ဘာစစ်ဆေးခြင်းအီလက်ထရွန်အဏုကြည့်မှန်ပြောင်း၊ Eco ။ SEM, 15x ~ 250000x
ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ
A63.7062 Tungsten ဝိုင်ယာကြိုး scan ဖတ်အီလက်ထရွန်အဏုကြည့်, Eco ။ SEM | ||
resolution | 4.5nm@30KV (SE); ၆ နာရီ @ 30KV (BSE) | |
ချဲ့ | အနုတ်လက္ခဏာချဲ့: 15x ~ 250000x; မျက်နှာပြင်ချဲ့: 30x ~ 500000x | |
အီလက်ထရွန်သေနတ် | Tungsten အပူ Cathode-Pre ဗဟိုပြု Tungsten နန်းကြိုးအမျှင်လေးတစ်ခု | |
Voltage ကိုအရှိန်မြှင့် | 0 ~ 30KV | |
မှန်ဘီလူးစနစ် | အဆင့်သုံးဆင့်လျှပ်စစ်သံလိုက်မှန်ဘီလူး (tapered lens) | |
ရည်ရွယ်ချက် aperture | ဖုန်စုပ်စက်အပြင်ဘက်ရှိ Molybdenum Aperture | |
နမူနာဇာတ်စင် | ငါးပုဆိန်အဆင့် | |
ခရီးသွားလုပ်ငန်း | X (အလိုအလျောက်) | 0 ~ 50mm |
Y (အော်တို) | 0 ~ 50mm | |
Z (လက်စွဲ) | 0 ~ 25mm | |
R (လက်စွဲ) | 360o | |
T (လက်စွဲ) | -5o ~ 90o | |
မက်စ်နမူနာအချင်း | 150mm | |
Detector | SE: Vacuum High Secondary Electron Detector (Detector Protection နှင့်အတူ) | |
ပြုပြင်မွမ်းမံ | Stage Upgrade; EBL; STM; AFM; အပူအဆင့်; Cryo အဆင့်; ဆန့အဆင့်; Micro-nano ကိုင်တွယ်; SEM + Coating စက်; SEM + လေဆာ | |
ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ | CCD, LaB6, X-Ray Detector (EDS), EBSD, CL, WDS, Coating Machine | |
လေဟာနယ်စနစ် | တာဘိုမော်လီကျူးပန့်များ၊ | |
အီလက်ထရွန် Beam ကိုလက်ရှိ | 10pA ~ 0.1 |
မင်းရဲ့မက်ဆေ့ခ်ျကိုဒီမှာရေးပြီးငါတို့ဆီပို့ပါ