A63.7081 Schottky Field Emission Gun Scanning အီလက်ထရွန်အဏုကြည့်မှန်ပြောင်း Pro FEG SEM, ၁၅x မှ ၈၀၀၀၀၀x
ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ
A63.7081 Schottky လယ်ကွင်းထုတ်လွှတ်မှုသေနတ် scan ဖတ်အီလက်ထရွန်အဏုကြည့် Pro ကို FEG SEM | ||
resolution | 30KV (SE) @ 1nm; 1KV (SE) @ 3nm; 2.5nm@30KV (BSE) | |
ချဲ့ | 15x ~ 800000x | |
အီလက်ထရွန်သေနတ် | Schottky ထုတ်လွှတ်အီလက်ထရွန်သေနတ် | |
အီလက်ထရွန် Beam ကိုလက်ရှိ | 10pA ~ 0.3μA | |
အသံမြန်စေခြင်း | 0 ~ 30KV | |
လေဟာနယ်စနစ် | ၂ အိုင်ယွန်ပန့်များ၊ တာဘိုမော်လီကျူးပန့်၊ စက်မှုစက် | |
Detector | SE: Vacuum High Secondary Electron Detector (Detector Protection နှင့်အတူ) | |
BSE: Semiconductor လေးပိုင်းခွဲမှုနောက်ကျောပြစက် | ||
CCD | ||
နမူနာဇာတ်စင် | ငါးပုဆိန် Eucentric မော်တာအဆင့် | |
ခရီးသွားလုပ်ငန်း | X | 0 ~ 150mm |
Y | 0 ~ 150mm | |
Z | 0 ~ 60mm | |
R | 360º | |
T | -5º ~ 75º | |
မက်စ်နမူနာအချင်း | 320mm | |
ပြုပြင်မွမ်းမံ | EBL; STM; AFM; အပူအဆင့်၊ Cryo အဆင့်၊ ဆန့်အဆင့်၊ Micro-nano စီမံခန့်ခွဲမှု၊ SEM + Coating Machine; SEM + Laser စသည်။ | |
ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ | X-Ray Detector (EDS), EBSD, CL, WDS, Coating Machine Etc. |
အားသာချက်များနှင့်အမှုများ
စကင်ဖတ်စစ်ဆေးနိုင်သည့်အီလက်ထရွန်အဏုကြည့်မှန်ပြောင်း (sem) သည်သတ္တု၊ ကြွေထည်မြေထည်ပစ္စည်း၊ သတ္တုဓာတ်၊ ဇီဝဗေဒ၊ ပိုလီမာ၊ ပေါင်းစပ်ခြင်းနှင့် nano စကေးတစ်ရှုထောင်၊ နှစ်မျက်နှာနှင့်သုံးဖက်မြင်ပစ္စည်းများ (ဒုတိယအီလက်ထရွန်ပုံရိပ်၊ backscattered electron image) ။ ၎င်းသည် microregion ၏အမှတ်၊ လိုင်းနှင့်မျက်နှာပြင်အစိတ်အပိုင်းများကိုခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာရန်အသုံးပြုနိုင်သည်။ ၎င်းကိုရေနံ၊ ဘူမိဗေဒ၊ ဓာတ်သတ္တု၊ အီလက်ထရွန်နစ်၊ Semiconductor နယ်ပယ်၊ ဆေးပညာ၊ ဇီဝဗေဒ၊ ဓာတုစက်မှုလုပ်ငန်း၊ အများပြည်သူလုံခြုံရေး၊ စိုက်ပျိုးရေး၊ သစ်တောနှင့်အခြားနယ်ပယ်များတွင်ရာဇ ၀ တ်မှုစုံစမ်းစစ်ဆေးခြင်း။ |
ကုမ္ပဏီသတင်းအချက်အလက်
မင်းရဲ့မက်ဆေ့ခ်ျကိုဒီမှာရေးပြီးငါတို့ဆီပို့ပါ